Hören Sie auf, Ihre Geräte durch das Erhitzen zu schädigen – es gibt eine bessere Methode, um Wafer zu erhitzen.
Wenn Sie schon einmal in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, kennen Sie das Problem: Man muss den Wafer oder das Substrat auf die richtige Temperatur bringen – doch man möchte nicht, dass der Innenraum des Geräts zu einem Ofen wird.
Standardmäßige Strahlungswärmer sind dafür berüchtigt. Sie leiten die Wärme überallhin ab. Schon bald ist das Innere des Geräts extrem heiß – das ist eine Katastrophe für die darin enthaltenen Komponenten und stellt außerdem eine echte Sicherheitsgefahr für die Arbeiter dar, die ins Innere des Geräts gelangen müssen.
Wie wir dieses Problem lösen
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen. Stellen Sie sich diese eher wie eine Taschenlampe vor – sie erwärmen nicht die Luft, sondern konzentrieren die Wärmeenergie auf einen bestimmten Punkt. Durch spezielle Reflektoren und gezielte Konstruktionen können wir diese Wärmeenergie präzise steuern.
Das Ziel ist einfach: Die Wärme soll genau dort ankommen, wo sie benötigt wird – und der Rest des Geräts soll unberührt bleiben.
Umgang mit der „Wärmeabgabe“
Es ist zwar unmöglich, jede Einzelheit der Wärmeabgabe zu verhindern – aber man kann sie definitiv kontrollieren. Wir verwenden hochreflektierende Beschichtungen, damit die Strahlung weiterhin in die gewünschte Richtung geleitet wird.
Da die Lampen in einen PID-gesteuerten Regelkreis eingebunden sind, erfolgt die Erhitzung fast sofort. Es entsteht kein langsames Aufheizen des gesamten Geräts – dadurch bleibt das Gerät kühler.
Die Realität in der Fabrik
Das Problem ist jedoch: Es handelt sich dabei um eine Präzisionsaufgabe. Wenn die Lampe nur wenige Millimeter abweicht, hat man Probleme. Es entstehen heiße Stellen auf dem Wafer – oder schlimmer noch: Die Lampe trifft ihr Ziel nicht.
Außerdem muss man auch sorgfältig mit der Kühlung umgehen. Diese Hochleistungs-Infrarotlampen erzeugen eine enorme Menge an Wärme. Wenn die Luftzirkulation gestört ist oder die Lüfter nicht richtig dimensioniert sind, geht die Lampe viel früher kaputt.
Aber wenn alles richtig gemacht wird, ist das eine riesige Erleichterung. Man kann viel von der zusätzlichen Wärmeableitung an den Innenwänden eliminieren. Dadurch wird das Gerät sicherer für die Mitarbeiter, und die Wärme kommt genau dorthin, wo sie hingehört.
Das Gerät bleibt kühl – der Wafer wird warm. Alle sind zufrieden.