Lassen Sie nicht zu, dass ein defekter Lampenstromkreis Ihren Ertrag zerstört.
Wenn man in einem Reinraumbereich mit hoher Leistung produziert, ist ein defekter Lampenstromkreis ein Albtraum. Es geht dabei nicht nur darum, einfach einen Ersatzteil einzubauen und wieder mit der Arbeit fortzufahren.
Wenn die Quarzröhre platzt, fallen Glassplitter sowie Halogengas direkt auf die Wafer. Das ist eine Katastrophe – man verliert nicht nur ein Teil, sondern es entsteht auch eine sekundäre Kontamination, die den gesamten Ertrag zerstört.
Warum versagen diese Röhren?
In der Regel liegt das an thermischen Schocks oder einer unsauberen Spannungsverteilung. Der Glasinhalt wird dadurch stark belastet.
Wir lösen dieses Problem, indem wir hochreinen gefügten Quarz verwenden. Dadurch steigt der Schmelzpunkt des Glases – die Röhre kann somit auch bei schnellen Leistungswechseln standhalten, ohne zu zerbrechen.
Die Partikel unter Kontrolle halten
Das Ziel ist einfach: Die Partikel sollen vom Substrat ferngehalten werden. Dazu wickeln wir die IR-Elemente in eine hitzebeständige Quarzhülle oder einen bruchfesten Schutz. Man kann das als „Sicherheitsnetz“ betrachten. Wenn das Innenelement versagt, hält die Hülle die Scherben zurück. So muss man nicht stundenlang versuchen, Glassplitter von einer 300-mm-Wafer zu entfernen.
Auch auf die Steckverbindungen achten wir sehr genau. Lockerer Sitz der Verbindungen führt dazu, dass es zu Überhitzung kommt – was wiederum zu Stromstörungen führt. Wir sorgen dafür, dass die Mechanik fest sitzt, damit man 24/7 arbeiten kann, ohne sich um elektrische Störungen kümmern zu müssen.
Die Realität der Kompromisse
Jeder möchte eine hohe Wärmestärke – doch das hat seinen Preis. Wenn man mehr Watt in einen kleinen Raum packt, steigt der innere Druck des Halogengases. Hier spielt die Kühlung eine wichtige Rolle. Wenn die Lüfter die Wärme nicht wegblasen können, werden die Dichtungen versagen – egal wie gut die Röhre ist.
Und noch ein Tipp: Halten Sie die Spannung konstant. Schwankungen in der Spannung führen dazu, dass die Glühfäden beschädigt werden – was wiederum die Lebensdauer der Lampe verringert. Wenn das Stromnetz Ihrer Fabrik instabil ist, besorgen Sie sich lieber einen speziellen Spannungsstabilisator. Das spart Ihnen auf lange Sicht viele Probleme.