ফ্যাব ফ্লোরে, ২°C পরিমাণ তাপমাত্রা পরিবর্তন হলেই ফটোরেসিস্টের প্রোফাইলে পরিবর্তন ঘটে। আর, যদি তাপমাত্রা খুব বেশি হয়, তাহলে ফটোরেসিস্টে দাগ থেকে যেতে পারে। IC-এর জন্য কম্প্যাক্ট ইনফ্রারেড ড্রায়ার শুধুমাত্র আরামদায়ক নয়; এটা প্রক্রিয়াটিকে স্থিতিশীল রাখতে অপরিহার্য। আমরা এই ড্রায়ারটি তৈরি করেছি যাতে লিথোগ্রাফি ও প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা স্থিতিশীল থাকে; কারণ এই ব্যবসায় প্রতিটি ওয়েফারই গুরুত্বপূর্ণ।
কী গুরুত্বপূর্ণ? আমরা নিয়র-ইনফ্রারেড (NIR) এমিটার ব্যবহার করি; এটা দ্রুত ও সঠিকভাবে তাপ সরবরাহ করে। ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে; আর সেটপয়েন্টের পুনরাবৃত্তি ±0.5°C এর মধ্যে থাকে। এর ফলে ফটোরেসিস্টের প্রোফাইল প্রতি বারই স্থিতিশীল থাকে। এই ড্রায়ারটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; এখানে কণার পরিমাণ নিয়ন্ত্রিত থাকে। এটা ২৪/৭ কাজ করতে পারে; এর MTBF ২০,০০০ ঘন্টারও বেশি। এর আকার ৩০০ মিমি × ২০০ মিমি × ১৫০ মিমি; এটা ২৪ ভোল্ট ডিসি বা ৪৮ ভোল্ট ডিসি দিয়ে চালিত হয়। এটা বিদ্যমান সিস্টেমেও সহজেই ব্যবহার করা যায়।
কেন এটা কার্যকর? দ্রুত ও সঠিকভাবে তাপ সরবরাহ করার জন্য NIR এমিটার ব্যবহৃত হয়। এর ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায় এবং উৎপাদন বৃদ্ধি পায়। শক্তি সাশ্রয় হয়, কারণ এমিটারটি সরাসরি ওয়েফার ও সাবস্ট্রেটে তাপ সরবরাহ করে; চেম্বারের দেয়ালে নয়। ফটোরেসিস্ট প্রক্রিয়ায় এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশনগুলো নিয়ন্ত্রণে থাকে এবং পুনরাবৃত্তি কমে যায়। প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায় এটা অতিরিক্ত তরল শুকিয়ে দেয় এবং আর্দ্রতা দূর করে। ক্লিনরুমে ব্যবহার করার ফলে কণার পরিমাণ কমে যায়—যা উন্নত প্রযুক্তির জন্য অপরিহার্য।
কিছু ব্যবহারিক তথ্য: ড্রায়ারটির জন্য স্থিতিশীল ও ফিল্টারযুক্ত বিদ্যুৎ সরবরাহ এবং পরিষ্কার, শুষ্ক বায়ু প্রয়োজন। ওয়েফার গরম হতে সময় লাগে না; কিন্তু ১০ মিনিট স্থিতিশীল হওয়ার পরই ড্রায়িং শুরু করা উচিত। এটা কম্প্যাক্ট হলেও, নিরাপত্তার জন্য এমিটার অঞ্চলের চারপাশে পর্যাপ্ত জায়গা দরকার। এমিটারের স্পেকট্রামটি আপনার ফটোরেসিস্ট ও সাবস্ট্রেটের সাথে মিল হওয়া উচিত; আমাদের অ্যাপ্লিকেশন টিম আপনার প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত সমাধান দিতে পারে।