ফ্যাব রুমে, আপনি নিশ্চয়ই জানেন যে বেক তাপমাত্রায় ০.২°C এর পরিবর্তন হলেই ফটোরেসিস্টের গুণমান নির্ধারিত মানের বাইরে চলে যায়। ঐতিহ্যবাহী হটপ্লেটগুলো উপরিভাগের তাপমাত্রা ও ওয়েফারের অসমতাগুলো নিয়ন্ত্রণ করতে ব্যর্থ হয়; ফলে নিয়ন্ত্রণ সীমাগুলো আরও কঠোর করতে হয়। আমরা জোনড ইনফ্রারেড হিটিং মডিউল তৈরি করেছি; এটা ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে এবং তাপমাত্রার পরিবর্তনগুলোকে কমিয়ে দেয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
স্বাধীন, ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার মাধ্যমে ওয়েফারের উপরিভাগে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। তাপমাত্রা কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই স্থিতিশীল হয়ে যায়; ফলে থার্মাল র্যাম্প টাইম কমে যায় এবং প্রক্রিয়াটি আরও নিয়ন্ত্রণযোগ্য হয়। এটা ক্লাস ১–১০০ ধরনের ক্লিনরুমে কাজ করে; এখানে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। এর ইউটাইম ২৪/৭; এমটিবিএফও আমাদের প্রত্যাশার সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ।
লিথোগ্রাফিতে এটা কেন কার্যকর?
বেক প্রক্রিয়ার পুনরাবৃত্তি সিডি নিয়ন্ত্রণ ও উৎপাদন ক্ষমতাকে উন্নত করে। জোনড হিটিং ব্যবস্থার মাধ্যমে তাপমাত্রার পরিবর্তনগুলো কমে যায়; ফলে বিভিন্ন ওয়েফারে তাপমাত্রা একই থাকে। এর ফলে পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন কমে যায়, অপ্রয়োজনীয় কাঁচামাল কমে যায়, এবং গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলো অপরিবর্তিত থাকে। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়; কারণ মডিউলটি শুধুমাত্র নির্দিষ্ট অঞ্চলগুলোকেই উত্তপ্ত করে।
ইনস্টলেশনের জন্য কী প্রয়োজন?
ইনস্টলেশনের জন্য পরিষ্কার, সমতল সারফেস এবং আইআর এমিটার অ্যারের জন্য যথেষ্ট জায়গা প্রয়োজন। রিট্রফিট কিটগুলো সাধারণ ট্র্যাকগুলোর সাথে মানানসই; কিন্তু মেকানিক্যাল ডিজাইনগুলো প্ল্যাটফর্মভেদে ভিন্ন হয়। ±০.১°C এর মধ্যে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে হলে মডিউলটিকে আপনার রেসিস্টের তাপীয় প্রোফাইল অনুযায়ী ক্যালিব্রেট করতে হয়। একবার ক্যালিব্রেট হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি অপরিবর্তিত থাকে; কিন্তু যদি রেসিস্টের রাসায়নিক গঠন পরিবর্তিত হয়, তাহলে পুনরায় ক্যালিব্রেশন করতে হবে।