
২.৫ডি/৩ডি প্যাকেজিং লাইনগুলিতে এই হিটারগুলো ভেঙে যায় না; কারণ এর কনসেপ্টটাই ভুল। আসলে এগুলো তাপীয় প্রভাবের কারণেই কাজ করে না। অন্ডারফিল কিউরিং প্রক্রিয়ায় কয়েক ডিগ্রির পরিবর্তন ঘটলেই উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়। এই ধরনের পুনর্কাজ করতে ঘণ্টার পর ঘণ্টা সময় লাগে, আর অনেক উপকরণও নষ্ট হয়। আমরা এই ২.৫ডি/৩ডি আইসি প্যাকেজিং হিটারটি তৈরি করেছি, যাতে প্রতিটি চক্রেই তাপীয় নিয়ন্ত্রণ ঠিক থাকে।
এর মূল বৈশিষ্ট্য হলো পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা। কোয়াটজ-হ্যালোজেন শর্ট-ওয়েভ এমিটারগুলো দ্রুত ও নিয়ন্ত্রণযোগ্য প্রতিক্রিয়া দেয়; আর কার্বন-ফাইবার-রিইনফোর্সড হিটারটি তাপীয় চাপেও অটুট থাকে। অ্যাক্টিভ জোনে ±০.১°C এর মধ্যে সমানতা বজায় থাকে; আর সফ্ট বেক, হার্ড বেক ও অ্যাডহেসিভ কিউরিং প্রক্রিয়াগুলোতেও একই নিয়ন্ত্রণ বজায় থাকে। এটি ২৪/৭ ঘণ্টা কাজ করতে পারে; ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন হয় না। আউটপুট ড্রিফট পরীক্ষাগুলো ৫,০০০+ ঘণ্টা অন্তর করা হয়; আর রেসিপি নির্ধারিত হয়ে গেলে প্রক্রিয়ার Cpk মান ১.৬৭-এর উপরেই থাকে।
এটি ২.৫ডি/৩ডি প্যাকেজিং লাইনগুলিতে ব্যবহৃত হয়; কারণ এটি তাপমাত্রাকে একটি পরিবর্তনশীল চলক হিসেবে ব্যবহার করে না। ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়াগুলো নির্ধারিত মানের মধ্যেই থাকে; TSV ফিলিং ও অন্ডারফিল কিউরিং প্রক্রিয়াগুলোও নির্ধারিত লক্ষ্যে পৌঁছায়। তাপীয় গ্রেডিয়েন্ট নিয়ন্ত্রণ করার ফলে ওয়্যার্পেজ কমে যায়। কোয়ালিফিকেশন প্রক্রিয়াগুলো সংক্ষিপ্ত হয়; অপ্রয়োজনীয় উপকরণগুলো কমে যায়; আর দ্রুত তাপ প্রদানের ফলে প্রতি ইউনিটে ব্যবহৃত শক্তিও কমে যায়।
ইনস্টলেশনটি খুবই সহজ; কিন্তু ইন্টারফেস নিয়ে সতর্ক থাকতে হবে। হিটারটির আকারটি আপনার চাক ও টুলিংগের সাথে মিলে যাওয়া উচিত; ইনস্টলেশনের পর পূর্ণ তাপীয় ক্যালিব্রেশনের জন্য ৩০ মিনিট সময় দরকার। এই হিটারটি স্ট্যান্ডার্ড ৪–২৮ VDC কন্ট্রোলার ও SMbus/RS-485 ইনস্ট্রুমেন্টেশনের সাথে কাজ করে; শুধুমাত্র চেম্বারের গ্যাস মিশ্রণ নিশ্চিত করুন—অক্সিজেন-সমৃদ্ধ বাতাবরণে বিশেষ ধরনের এমিটার উপকরণ ব্যবহার করতে হয়। টুলটিকে ক্যালিব্রেট করলেই প্রক্রিয়াটি নিয়ন্ত্রণে থাকে।