黄金 on Factory Direct Infrared Heating

用于半导体的镀金红外灯

Mon, 27 Jul 2026 08:55:20 +0800

如何阻止制造过程中出现的“幽灵粒子”
要维持100级洁净室的清洁状态，仅仅更换空气过滤器是不够的。如果你从事过半导体加工工作，就会知道真正的难题在于加热元件本身。

大多数普通红外灯都有问题：它们会在你不希望其发光的时候释放出微量杂质。我们通过将高纯度合成石英与金反射涂层结合在一起来解决这个问题。

双管镀金灯管

Thu, 23 Jul 2026 12:09:40 +0800

停止浪费电能：为何镀金双管结构如此高效

在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。如果使用普通的石英灯，那无疑是在浪费能源。因为这类灯具会将热量向四周散发，这样一来，大量电能就被用来加热炉壁，而无法真正用于加热晶圆本身。这显然是一种浪费。不过，我们找到了解决这个问题的方法。

黄金的神奇作用
我们在灯体的背面覆上一层薄薄的黄金。虽然听起来很神奇，但实际上这只是物理原理的应用而已。黄金对红外线的反射能力远远强于铝或抛光钢。可以说，黄金就像一面“热反射镜”——热量不会直接散失到空气中，而是被反射回来，直接照射到晶圆上。这样一来，热量传递效率大大提高。最棒的是，你不必再从电源中获取更多的电流了。

更高的功率，更小的空间
此外，还有双管结构。其目的很简单：在更小的空间内容纳更多的加热元件。通过将灯丝的表面积加倍，我们就可以在不增加灯具长度的情况下提升总功率。这样就能实现更高的热密度。在实际应用中，这意味着升温速度更快，同时也能让晶圆表面的温度更加稳定。

带金色反射器的红外灯泡

Sat, 18 Jul 2026 04:24:06 +0800

无需再为100级洁净室中的颗粒问题而烦恼了。
如果您在100级（ISO 5标准）的洁净环境中工作，那么您一定知道颗粒污染所带来的困扰。哪怕有一小片碎片从加热元件上脱落下来，整批硅晶圆或医疗植入物就都报废了。
普通的线圈或电阻丝根本无法承受如此高的温度——它们会开始释放气体或出现碎裂现象。这实在是个棘手的问题。
我们则采用了不同的解决方案：我们使用高纯度的石英红外灯以及镀金反射器。这样，就不会有碎片或灰尘产生，也就不必再为此操心了。
为什么选择黄金？
大多数人会使用铝制反射器，但铝容易氧化。随着时间的推移，氧化后的铝会变成微小的粉尘，这些粉尘会飘落到工件上。而黄金则不会这样，它始终保持清洁状态。此外，黄金能以98%的效率反射红外辐射，这意味着热量会直接作用于需要加热的部件上，而不会让机器的框架过热，从而避免整个房间变热。
制造质量
我们使用熔融石英作为灯壳材料，因为这种材料能够承受巨大的温差而不破裂。在组装过程中，我们还去掉了所有的粘合剂和有机粘结剂，确保整个装置完全密封。这样一来，卤素气体就能被限制在灯泡内部，不会泄漏到外面。
需要注意的一些事项
这些灯的功率非常高。由于镀金反射器的效率高，目标温度会迅速上升。因此，您需要调整PID控制器，以避免温度超过设定值。另外，如果将这些灯安装在旧设备上，那么请务必检查电源供应情况。因为这些高功率灯泡在启动时会消耗大量电流。
安装使用
这些灯可以替代大多数高端洁净室中的加热器。最棒的是，这种加热源不会随时间而退化，这就使得过滤工作变得更加简单，因为不再需要担心加热器本身造成的污染问题了。