http://infrared-heat-direct.com/zh/tags/%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 系统 on Factory Direct Infrared Heating Hugo zh Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/zh/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/zh/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="RTP系统用卤素灯"></p> <p>在芯片制造过程中，温度变化绝非可以忽视的问题。在光刻胶的软烘烤或硬烘烤过程中，如果温度出现5℃的波动，就可能导致芯片线宽控制失效；而RTP过程中的温度不均匀性则会让芯片的结结构受到破坏。我们特意为RTP工艺设计了卤素灯，以此来消除这些不确定性。</p>