http://infrared-heat-direct.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Factory Direct Infrared Heating Hugo zh Thu, 23 Jul 2026 12:01:58 +0800 http://infrared-heat-direct.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Thu, 23 Jul 2026 12:01:58 +0800 http://infrared-heat-direct.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="更好的mems传感器晶圆干燥方法">更好的MEMS传感器晶圆<a href="https://o-yate.net">干燥方法</a></h1> <p>如果你们曾经处理过MEMS传感器晶圆，就会明白其中的难题所在。必须尽快去除晶圆上的水分，但同时又不能让水迹或热应力破坏整批晶圆。</p> <p>长期以来，人们通常使用对流式烘箱来干燥晶圆。但说实话，这种方法效率极低——为了干燥几块晶圆，却不得不加热整个烘箱。这不仅耗时耗力，而且不符合我们如今所追求的“绿色制造”理念。</p>