Mô đun sưởi ấm bằng tia hồng ngoại theo từng khu vực

Tue, 23 Jun 2026 00:11:51 +0800

Trong quy trình sản xuất, bạn biết rồi đấy: nếu nhiệt độ sấy thay đổi 0,2°C thôi, thì chất lượng bề mặt wafer sẽ giảm sút đáng kể, khiến sản phẩm trở thành phế liệu. Các bộ sưởi truyền thống khó có thể khắc phục được tình trạng không đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer, vì vậy người ta buộc phải kiểm soát chặt chẽ các yếu tố ảnh hưởng đến nhiệt độ. Chúng tôi đã thiết kế mô-đun sưởi bằng tia hồng ngoại để loại bỏ những biến đổi này, đặc biệt là ở vùng cần sưởi trực tiếp trên bề mặt wafer.

Phân Khu on Factory Direct Infrared Heating

Mô đun sưởi ấm bằng tia hồng ngoại theo từng khu vực