Ngăn chặn sự vỡ vụn của bóng đèn hồng ngoại: Giữ cho các wafer được sạch sẽ khi bóng đèn hồng ngoại bị hỏng
Trong các dây chuyền sản xuất chất bán dẫn với công suất lớn, việc bóng đèn hồng ngoại bị vỡ là một thảm họa thực sự. Không chỉ gây ra tình trạng ngừng hoạt động của dây chuyền, mà còn gây ra sự lộn xộn khủng khiếp. Khi ống thủy tinh bị vỡ, những mảnh thủy tinh và các mảnh kim loại sẽ rơi xuống các wafer. Đó quả là một thảm họa.
Đó là lý do tại sao chúng tôi thiết kế những bộ sưởi hồng ngoại trong phòng sạch, nhằm ngăn chặn sự hỗn loạn này trước khi nó ảnh hưởng đến các sản phẩm của bạn.
Đối phó với tình trạng quá nhiệt và sự vỡ vụn của bóng đèn
Hầu hết các bóng đèn bị hỏng do các xung điện hoặc sự giãn nở nhiệt không đều. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này có thể chịu được những dao động điện áp mạnh mà không bị nứt vỡ.
Nhưng việc sử dụng thủy tinh tinh khiết chỉ là một phần thôi. Chúng tôi còn trang bị các bộ điều khiển điện áp chính xác để ngăn chặn những xung điện áp bất thường. Lưu ý rằng bạn cần điều chỉnh thông số PID một cách chính xác. Nếu điện áp dao động không ổn định, tuổi thọ của bóng đèn sẽ bị rút ngắn.
Ngăn chặn các mảnh vụn rơi xuống các wafer
Chúng tôi không chỉ hy vọng rằng thủy tinh sẽ chịu đựng được sự va chạm. Chúng tôi còn trang bị thêm lớp bảo vệ để ngăn chặn các mảnh vụn rơi xuống các wafer. Hãy coi đó như một “lưới an toàn”. Nếu bóng đèn bị vỡ, lớp bảo vệ này sẽ giữ chặt các mảnh vụn, giúp chúng không rơi xuống các wafer.
Chúng tôi cũng chú ý đến những chi tiết nhỏ. Tất cả các bộ phận cố định và dây dẫn đều được làm từ vật liệu không tỏa khí. Nhờ vậy, khi bóng đèn nóng lên, bạn sẽ không phải đối mặt với tình trạng các chất hữu cơ dễ bay hơi được thải vào phòng sạch.
Những hy sinh cần chấp nhận
Sự thật là việc trang bị thêm lớp bảo vệ và thủy tinh tinh khiết khiến bộ sưởi trở nên lớn hơn một chút. Điều này cũng tạo ra một rào cản vật lý giữa nguồn nhiệt và các wafer.
Vì vậy, có lẽ bạn sẽ cần điều chỉnh khoảng cách tập trung của bóng đèn hoặc tăng công suất để đảm bảo nhiệt độ được kiểm soát ở mức cần thiết. Lời khuyên của tôi là hãy chọn nguồn cung cấp điện có công suất cao hơn khoảng 10%. Điều này sẽ giúp bù đắp cho sự tổn thất do lớp bảo vệ gây ra và mang lại cho bạn một chút “không gian” để điều chỉnh.