Ngăn chặn các hạt “ma” trong quy trình sản xuất chip
Để giữ cho phòng sạch loại 100 luôn trong trạng thái sạch sẽ, không chỉ cần thay thế bộ lọc khí mà thôi. Nếu bạn từng làm việc trong lĩnh vực chế tạo chip bán dẫn, bạn chắc hẳn hiểu rõ những khó khăn thực sự: chính là bộ phận tạo nhiệt.
Hầu hết các bóng đèn hồng ngoại thông thường đều gây ra vấn đề; chúng giải phóng khí hoặc các hạt nhỏ vào môi trường xung quanh vào đúng lúc mà chúng ta không mong muốn điều đó xảy ra. Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách kết hợp thuỷ tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao với lớp phủ bằng vàng.
Cách thức hoạt động của nó như sau:
Chúng tôi phủ một lớp vàng lên mặt sau của ống thuỷ tinh. Mục đích không phải để làm cho bóng đèn trở nên đẹp hơn, mà là để lớp vàng này hoạt động như một tấm gương phản xạ nhiệt, giúp chiếu ánh sáng hồng ngoại về phía wafer thay vì để nhiệt lượng bị lãng phí do việc làm nóng vỏ bóng đèn.
Kết quả là, nhiệt độ được kiểm soát tốt hơn ở những vùng quan trọng, trong khi các đầu mút của bóng đèn vẫn giữ được nhiệt độ thấp.
Về thuỷ tinh, chúng tôi sử dụng loại có độ tinh khiết cao. Chúng tôi rất quan tâm đến các tiêu chuẩn kỹ thuật, vì chúng ta không muốn có chất gây ô nhiễm kim loại xuất hiện trong quá trình sản xuất. Đó chính là cách ngăn chặn các hạt “ma” gây hư hại cho wafer silic tinh khiết.
Một số lưu ý về việc lắp đặt:
Những bóng đèn này là những công cụ chính xác, nhưng nhiệt độ phát ra từ chúng rất cao. Vì lớp vàng giúp tập trung năng lượng vào một hướng duy nhất, nên bạn cần chú ý đến nhiệt độ của vỏ bóng đèn. Nếu hệ thống làm mát của bạn không đủ mạnh để đối phó với mức nhiệt này, có thể dẫn đến việc hư hỏng các bộ phận của bóng đèn. Đó là một thiết bị mạnh mẽ, vì vậy hãy chắc chắn rằng hệ thống làm mát của bạn hoạt động tốt.
Tại sao cần dùng thiết bị này?
Những bóng đèn giá rẻ thường sử dụng keo dính hoặc kim loại chất lượng thấp. Trong môi trường chân không hoặc môi trường cực kỳ sạch, những vật liệu này sẽ bị hư hỏng hoặc giải phóng khí. Đó thực sự là một vấn đề lớn. Những ống thuỷ tinh được phủ vàng của chúng tôi giúp loại bỏ hoàn toàn những vấn đề này. Bạn sẽ có nguồn nhiệt ổn định và sạch sẽ, giúp tránh những sai sót trong quy trình sản xuất. Đối với bất kỳ kỹ sư nào muốn tránh mọi hạt bụi trên wafer 300mm, đây chính là cách làm việc đơn giản và an toàn nhất.