http://infrared-heat-direct.com/uk/tags/%D1%83%D0%BB%D1%8C%D1%82%D1%80%D0%B0/ Recent content in Ультра on Factory Direct Infrared Heating Hugo uk Wed, 03 Jun 2026 12:27:48 +0800 http://infrared-heat-direct.com/uk/posts/ultra-pure-water-heating-lamp/ Wed, 03 Jun 2026 12:27:48 +0800 http://infrared-heat-direct.com/uk/posts/ultra-pure-water-heating-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Ультра чиста лампа для нагрівання води"></p> <p>На виробничій ділянці запікання фоторезисту важливий не лише піковий температурний режим, а й термічна однорідність по всій поверхні wafer-а. Зсув у 0,5°C може змінити CD-біас і вивести вихід продукції за межі специфікації. Ми розробили нагрівальну лампу з ультрачистою водою, щоб підтримувати стабільний тепловий профіль там, де це має значення — на резисті, по всій поверхні, цикл за циклом.</p> <p>Технічно важливим є контроль. Ми використовуємо короткохвильовий галогеновий випромінювач у кварцовому корпусі, у поєднанні з геометрією з низькою тепловою масою. Це забезпечує швидкий, спрямований нагрів із відгуком менш ніж за секунду. Результат — однорідність на рівні wafer-а в межах ±0,1°C і повторюваність від циклу до циклу в межах 0,05°C.</p>