http://infrared-heat-direct.com/uk/tags/%D0%BB%D1%96%D1%82%D0%BE%D0%B3%D1%80%D0%B0%D1%84%D1%96%D1%8F/ Recent content in Літографія on Factory Direct Infrared Heating Hugo uk Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/uk/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/uk/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Лампа нагрівача канонної літографії"></p> <h1 id="на-поверхні-літографії-ви-знаєте-як-це-відбувається-мякий-випал-який-зміщується-навіть-на-півградуса-змінює-вашу-експозиційну-широту-а-потім-жорсткий-випал-починає-скидати-на-лінії-залишки-ви-коригуєте-фокус-налаштовуєте-дозу-і-все-одно-дивитесь-на-помилки-розташування-країв-які-безпосередньо-повязані-з-тепловим-етапом-піч-стабільна-гаряча-плита-стабільна-вузьке-місце--це-лампа-всередині-нагрівального-модуля-canon-lithography">На поверхні літографії ви знаєте, як це відбувається. М’який випал, який зміщується навіть на півградуса, змінює вашу експозиційну широту, а потім жорсткий випал починає скидати на лінії залишки. Ви коригуєте фокус, налаштовуєте дозу, і все одно дивитесь на помилки розташування країв, які безпосередньо пов’язані з тепловим етапом. Піч стабільна. Гаряча плита стабільна. Вузьке місце — це лампа всередині нагрівального модуля <a href="https://o-yate.com">Canon</a> lithography.</h1> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми будуємо лампу нагрівача Canon <a href="https://o-yate.net">lithography</a> на основі галогенового випромінювача в короткохвильовому інфрачервоному діапазоні (SWIR) у кварцовому балоні, налаштованому для швидкого прямого радіаційного нагріву з відгуком менше секунди. Ви отримуєте термічну однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всій поверхні випалу та повторюваність температури, що зберігається протягом тисяч пластин. Геометрія нитки та шлях відбивача підібрані під камеру нагрівача, тому фоторезист бачить повторюваний тепловий бюджет — без гарячих зон на краю.</p>