Інфрачервона лампа з золотим відбивачем

Sat, 18 Jul 2026 04:24:06 +0800

Перестаньте турбуватися про частинки в приміщенні класу чистоти 100
Якщо ви експлуатуєте приміщення класу чистоти 100 (ISO 5), ви знаєте, які проблеми можуть виникнути через наявність частинок. Одна лише крихта з нагріваючого елемента може зруйнувати всю партію кремнієвих пластин чи медичних імплантатів.

Більшість стандартних нагріваючих елементів не можуть витримати такий температурний навантаження – вони починають виділяти гази чи руйнуватися. Це постійна боротьба.

Ми використовуємо інший підхід: ми використовуємо інфрачервоні лампи з високочистим кварцом та відбивачі, покриті золотом. Жодних крихт, жодного пилу – жодних проблем.

Лампа нагрівача канонної літографії

Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800

На поверхні літографії ви знаєте, як це відбувається. М’який випал, який зміщується навіть на півградуса, змінює вашу експозиційну широту, а потім жорсткий випал починає скидати на лінії залишки. Ви коригуєте фокус, налаштовуєте дозу, і все одно дивитесь на помилки розташування країв, які безпосередньо пов’язані з тепловим етапом. Піч стабільна. Гаряча плита стабільна. Вузьке місце — це лампа всередині нагрівального модуля Canon lithography.

Що має значення з технічної точки зору
Ми будуємо лампу нагрівача Canon lithography на основі галогенового випромінювача в короткохвильовому інфрачервоному діапазоні (SWIR) у кварцовому балоні, налаштованому для швидкого прямого радіаційного нагріву з відгуком менше секунди. Ви отримуєте термічну однорідність на рівні пластини в межах ±0.1°C по всій поверхні випалу та повторюваність температури, що зберігається протягом тисяч пластин. Геометрія нитки та шлях відбивача підібрані під камеру нагрівача, тому фоторезист бачить повторюваний тепловий бюджет — без гарячих зон на краю.

Лампочка on Factory Direct Infrared Heating

Інфрачервона лампа з золотим відбивачем

Лампа нагрівача канонної літографії