Kurutma on Factory Direct Infrared Heating

MEMS sensör yonga kurutma ısıtıcısı

Thu, 23 Jul 2026 12:01:58 +0800

MEMS sensör yongalarını kurutmanın daha iyi bir yolu
Eğer daha önce MEMS sensör yongalarıyla uğraştıysanız, bu sürecin ne kadar zor olduğunu bilirsiniz. Suyun hızla giderilmesi gerekiyor; ancak su izlerinin veya termal stresin oluşmasına izin veremezsiniz.

Uzun süre boyunca en yaygın yöntem konveksiyon fırınlarıydı. Ama dürüst olmak gerekirse bu yöntem gereksizdir. Sadece birkaç wafer’ı kurutmak için tüm fırını ısıtmak zorunda kalıyorsunuz. Bu hem yavaş hem de pahalı bir yöntemdir. Ayrıca günümüzde hepimizin arzuladığı “yeşil fabrika” prensipleriyle de uyumlu değildir.

Fabrika kurutma işlemleri için enerji denetimi

Thu, 09 Jul 2026 04:00:09 +0800

Fabrikalarda Kurutma İşlemleri İçin Enerji Denetimi: Neden Yönlü Kızılötesi Işıklar En İyi Çözüm?
Fabrikalardaki kurutma işlemlerinden bahsedelim. Burada kesinlikle hassasiyet gereklidir. Eski yöntemler olan konveksiyonlu ısıtma yöntemleri, odanın tamamını, yani parçanın etrafındaki duvarları ve ekipmanları da ısıtır. Bu da tıpkı bir dilim ekmek kızartmak için tüm mutfakta ısı yaratmak gibi bir şeydir.

Bu yüzden daha iyi bir yöntem geliştirdik: Yönlü kızılötesi ışıklar. Bu sistemin temelini, ısıyı tam da ihtiyaç duyulan yere yönlendiren kısa dalga boylu kızılötesi lambalar oluşturur. Artık enerji israfı yok; ekipmanlar da aşırı ısınmıyor. İş tam olarak ve verimli bir şekilde gerçekleşiyor.

Wafer kurutma lambası 300mm

Fri, 03 Jul 2026 08:59:49 +0800

300mm çaplı waferlerin işlenmesinde kurutucu, sadece isteğe bağlı bir özellik değildir; bu cihaz, waferlerin işlem sonrası kullanılabilir hale gelmeden önce geçmesi gereken son ısı kontrol noktasıdır. Fotoresistin ısıl işlemi sırasında meydana gelen birkaç derecelik düzensizlik veya eskiyen lambadan kaynaklanan parçacıklar, tekrarlanabilir litografi işlemlerinin başarısız olmasına neden olur. Wafer kurutma lambamızı, waferin yüzey sıcaklığını ±0,1°C içinde tutarak ve kirlenmeye izin vermeyerek tasarladık.

Sistemin iç yapısı ne kadar önemli?
Hızlı ve lokal ısıtma sağlamak için kısa dalga boyunda kızılötesi emitörler kullanıyoruz; böylece sıcaklık belirlenen değere hızla ulaşıyor. 300mm boyutlarına uygun kuvars pencere ve yansıtıcılar sayesinde waferin her yerinde eşit ısı dağılımı sağlanıyor; bu da CD değerlerindeki farklılıkları azaltıyor. Sistem, Class 1–100 standartlarına uygun malzemeler ve contalarla donatılmış olup, parçacık üretmeyecek şekilde tasarlanmıştır. Kapalı döngü kontrolü sayesinde her seferinde aynı sonuçlar elde ediliyor.

Wafer kurutma modülü 200mm

Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800

200 mm’lik hatlarda, tek bir nemli işlem bile verimi olumsuz etkileyebilir. Temizleme işlemlerinden sonra kalan su, fotoresist üzerinde lekeler oluşturur; ardından yapılan ısıtma işlemleri ise kritik boyut kontrolünü istenen standartların dışına çıkarır. Bu sorunu operatörlerin ayarlamalarıyla gidermek mümkün değildir; gereken şey, her vardiyada aynı şekilde çalışan bir kurutma modülüdür.

Arka plandaki önemli faktörler
200 mm’lik wafer kurutma modülümüz, kontrollü ısı uygulaması ve kirlilik kontrolüne dayanarak tasarlanmıştır. Wafer üzerindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında tutulur; böylece hem yumuşak hem de sert ısıtma işlemleri her parti için tutarlı kalır. Bu sistem, 1–100 seviyesindeki temiz oda koşullarına uygundur ve parça üretimindeki hedeflerimizi destekleyecek şekilde tasarlanmıştır. 24/7 çalışma koşullarında, planlanmamış arızaların olmaması hedeflenir ve cihazın kullanım ömrü on binlerce saat olarak hesaplanır. Tekrarlanabilirlik bir önemli unsur değildir; bu, temel bir gerekliliktir.