Wafer üretim tesislerinde karbon salınımını azaltmak: Kızılötesi ısıtmanın gerçekleri
Dürüst olalım; yarı iletken ekipmanlar son derece fazla enerji tüketen cihazlardır. Bir wafer üretim tesisinin karbon ayak izine bakarsanız, en büyük enerji israfının genellikle ısıtma sürecinde olduğunu görürsünüz. Yıllar boyunca tüm vakum odasını adeta dev bir fırın gibi ısıttık; bu da aslında sadece bir dilim pizzayı ısıtmak için tüm evinizi ısıtmak gibidir.
Hedefe yönelik kızılötesi ışık sistemlerine geçmek bu durumu değiştirir. Her yeri ısıtmak yerine, ısıyı tam da waferin ihtiyaç duyduğu yere yönlendirirsiniz.
Kızılötesinin neden işe yaradığı
Bunun sebebi kısa dalga boylu kızılötesi lambalarındır. Bu lambalar çok hızlıdır; gücü ayarladığınız anda hemen etki gösterirler. Konveksiyona bağlı kalmadığınız için doğrudan enerji transferi sağlanır. Artık odanın belirli bir sıcaklığa ulaşmasını beklerken kilovatlarca enerji israf etmek zorunda kalmazsınız.
Ancak bir dezavantaj da var…
Yüksek güçlü kızılötesi lambalar oldukça güçlüdür. Bu yüksek ısı yoğunluğu wafer için iyidir; ancak ekipmanın yapısı için felaket niteliğindedir. Eğer bu lambalardan çok fazla güç geçirirseniz, çevredeki donanımlar zarar görür. Soğutma sistemlerine dikkat etmek zorundasınız. Eğer soğutma sistemi bu ısıyı atamazsa, sensörler bozulmaya başlar. Böylece üretim sürecinin tutarlılığı kaçar.
“Yeşil fabrika” konseptini gerçekleştirmek
Kızılötesi teknolojisini kullandığınızda, fizik kurallarıyla mücadele etmek yerine onları kullanmaya başlarsınız. Emission spektrumunu waferin gerçekten emdiği şekilde ayarlayarak, ekipman duvarlarında enerji israfını ortadan kaldırırsınız. Bunu özellikle pişirme ve kurutma işlemlerinde görüyoruz. Ayrıca daha hızlı üretim ve her çip başına daha düşük enerji tüketimi elde edersiniz. Bu, iş yerinde uygulanabilecek basit bir mantıktır: Daha az atık, daha fazla wafer ve çok daha küçük bir çevresel etki.