Lithography katında işin nasıl yürüdüğünü bilirsiniz. Yarım derece bile değişen yumuşak pişirme, pozlama toleransınızı kaydırır, ardından sert pişirme çizgilere kalıntı bırakmaya başlar. Fokus peşinde koşarsınız, dozajı ayarlarsınız ve hâlâ termal adıma doğrudan bağlı kenar yerleştirme hatalarına bakıyorsunuzdur. Fırın sabittir. Sıcak plaka sabittir. Darboğaz Canon lithography ısıtıcı modülünün içindeki ampuldür.
Teknik olarak önemli olan
Canon lithography ısıtıcı ampulünü, alt saniye tepki süresiyle hızlı, doğrudan radyant ısıtma için uyarlanmış, kuvars muhafazalı kısa dalga kızılötesi (SWIR) halojen emitör çevresinde inşa ediyoruz. Pişirme yüzeyi genelinde wafer seviyesinde ±0.1°C içinde termal uniformite sağlanır ve binlerce wafer boyunca sıkı sıcaklık tekrarlanabilirliği korunur. Filaman geometrisi ve reflektör yolu, ısıtıcı boşluğuyla uyumlu olup, fotoresist’in tekrarlanabilir bir termal bütçe görmesini sağlar—kenarda sıcak nokta oluşmaz.
Uygulamada neden çalışır
Fotoresist işlemi, sıcaklığa bağlı kimyasal reaksiyonlardan oluşur. Stabil bir yumuşak pişirme, solventi öngörülebilir şekilde uzaklaştırır; kontrollü sert pişirme, reflow veya footing olmadan profilin oluşmasını sağlar. Bu ampulle, kritik boyut kontrolünü tutarlı şekilde sağlarsınız ve kenar pürüzlülüğünü azaltırsınız—bu da daha yüksek verim ve daha az yeniden işleme partisi demektir. Tasarım, 24/7 Class 1–100 temiz odalarda sıfır partikül üretimi ve düşük gaz çıkışı ile çalışır, böylece defekt sayıları düşük kalır. Enerji tüketimi de düşer, çünkü ampul sıcaklığı sabit tutmak yerine talep üzerine ısıtır.
Saha notları
Montaj alete özgüdür. Taban konektörünü eşleştirin, oturma düzlemini hizalayın ve tork değerine göre sıkın—aksi takdirde mikro ark ve sıcak nokta riski oluşur. Ampul sürekli çalışma için derecelendirilmiştir ancak ömrü sınırlıdır. Bakım pencereleri sırasında değiştirilmesi planlanmalı ve kuvarsı hidrokarbonlardan korumak için yedekler mühürlü tutulmalıdır. Modülü belirtilen voltajda çalıştırın; aşırı sürme daha hızlı tepki verebilir ancak bunun bedelini ömür ve uniformitede ödersiniz.