IC on Factory Direct Infrared Heating

เครื่องทำความร้อนสำหรับบรรจุชิปแบบ 2.5D/3D

Sun, 28 Jun 2026 05:49:44 +0800

ในกระบวนการผลิตแบบ 2.5D/3D นั้น โครงสร้างที่มีลักษณะเป็นชั้นๆ จะไม่แตกหัก เพราะแนวคิดนั้นผิดไปตั้งแต่ต้น จริงๆ แล้วโครงสร้างเหล่านี้จะพังเพราะปัจจัยด้านอุณหภูมิ หากอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงไปเพียงไม่กี่องศาในช่วงการอบแห้งวัสดุ ก็จะส่งผลให้อัตราการผลิตลดลงอย่างมาก การแก้ไขปัญหาแบบนี้ต้องใช้เวลาหลายชั่วโมง และยังสิ้นเปลืองวัสดุอีกด้วย เราจึงสร้างเครื่องอุ่นชนิด 2.5D/3D IC Packaging Heater ขึ้นมา เพื่อให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในแต่ละรอบการผลิต

สิ่งสำคัญที่สุดคือความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างแม่นยำ ตัวเรือนเครื่องอุ่นที่ทำจากคาร์บอนไฟเบอร์ช่วยให้เครื่องอุ่นมีความแข็งแรงทนทานต่อแรงกดดันทางอุณหภูมิ ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำในบริเวณที่มีการใช้งาน โดยมีความคลาดเคลื่อนไม่เกิน ±0.1°C และค่าอุณหภูมิที่ตั้งไว้ก็ยังคงสม่ำเสมอตลอดกระบวนการอบแห้งวัสดุ ไม่ว่าจะเป็นการอบแห้งแบบอ่อนหรือแบบแข็ง หรือการอบแห้งสารยึดเกาะ เครื่องอุ่นนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีการก่อให้เกิดอนุภาคใดๆ ในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 การตรวจสอบค่าอุณหภูมิจะทำทุกๆ 5,000 ชั่วโมง และเมื่อสูตรการผลิตถูกกำหนดไว้อย่างชัดเจนแล้ว ค่า Cpk ก็จะอยู่ที่ระดับสูงกว่า 1.67

เครื่องอุ่นนี้เหมาะสำหรับใช้ในกระบวนการผลิตแบบ 2.5D/3D เพราะสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ทำให้สามารถรักษาคุณภาพของวัสดุได้ดี โปรไฟล์การอบวัสดุก็จะอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด และการอบแห้งวัสดุก็จะเกิดขึ้นอย่างสมบูรณ์ นอกจากนี้ ความเอียงของโครงสร้างก็จะลดลง เพราะสามารถควบคุมความแตกต่างของอุณหภูมิได้ ทำให้กระบวนการผลิตสั้นลง มีของเสียน้อยลง และใช้พลังงานน้อยลงด้วย

การติดตั้งเครื่องอุ่นนี้ก็ทำได้ง่าย แต่ต้องคำนึงถึงการเชื่อมต่อด้วย ควรให้ขนาดของเครื่องอุ่นเหมาะสมกับตัวเครื่องและอุปกรณ์ที่ใช้ และควรใช้เวลาประมาณ 30 นาทีเพื่อทำการปรับเทียบอุณหภูมิอย่างถูกต้องหลังจากติดตั้งเสร็จ เครื่องอุ่นนี้สามารถใช้งานร่วมกับตัวควบคุมแบบ 4–28 VDC และอุปกรณ์วัดอุณหภูมิแบบ SMbus/RS-485 ได้ แค่ต้องตรวจสอบส่วนผสมของก๊าซในห้องอบด้วย หากเป็นห้องอบที่มีออกซิเจนสูง ก็จำเป็นต้องใช้วัสดุที่เหมาะสมสำหรับตัวเรือนเครื่องอุ่นด้วย หากปรับเทียบอุปกรณ์ให้เหมาะสมแล้ว กระบวนการผลิตก็จะอยู่ภายใต้การควบคุมได้อย่างดี

เครื่องอบด้วยรังสีอินฟราเรดขนาดกะทัดรัดสำหรับชิป IC

Sat, 27 Jun 2026 05:01:35 +0800

ในโรงงานผลิตชิป การเพิ่มอุณหภูมิเพียง 2 องศาเซลเซียสก็สามารถทำให้โครงสร้างของสารโฟโตรีซิสต์เปลี่ยนไปได้ ส่วนการใช้ความร้อนสูงในบริเวณขอบของชิปอาจทำให้เกิดคราบสกปรกได้ เครื่องอบด้วยแสงอินฟราเรดสำหรับชิปไม่ใช่อุปกรณ์ที่สามารถเลือกใช้ได้ตามใจชอบ แต่เป็นอุปกรณ์สำคัญที่ช่วยให้กระบวนการผลิตมีความแม่นยำ เราสร้างเครื่องนี้ขึ้นมาเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในกระบวนการผลิต ซึ่งในธุรกิจนี้ แต่ละชิปมีความสำคัญมาก

สิ่งที่สำคัญจริงๆ เครื่องนี้ใช้หลักการของแสงอินฟราเรดเพื่อให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยมีค่าความเฉื่อยทางความร้อนต่ำ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิบนพื้นผิวชิปอยู่ที่ ±0.1 องศาเซลเซียส และความแม่นยำของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.5 องศาเซลเซียส ดังนั้นโครงสร้างของสารโฟโตรีซิสต์จึงมีความแม่นยำในแต่ละล็อตการผลิต เครื่องนี้สามารถใช้งานได้ในห้องปลอดฝุ่นระดับ Class 1–100 โดยมีระบบควบคุมปริมาณฝุ่น และวัสดุที่ไม่ก่อให้เกิดฝุ่นเลย เครื่องนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีอายุการใช้งานมากกว่า 20,000 ชั่วโมง และไม่มีการหยุดทำงานโดยไม่ได้ตั้งใจเลย ขนาดของเครื่องอยู่ที่ 300 มม. × 200 มม. × 150 มม. โดยใช้ไฟฟ้า 24 VDC หรือ 48 VDC และมีพอร์ตเชื่อมต่อมาตรฐานสำหรับการติดตั้งเข้ากับระบบที่มีอยู่

เหตุผลที่เครื่องนี้เหมาะสำหรับการใช้งานในโรงงาน คุณต้องการความร้อนที่สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่มีการเกินขีดจำกัด แสงอินฟราเรดช่วยให้การให้ความร้อนเกิดขึ้นได้อย่างรวดเร็ว พร้อมทั้งมีระบบควบคุมที่แม่นยำ ดังนั้นเวลาในการอบจึงลดลง และประสิทธิภาพในการผลิตก็เพิ่มขึ้น นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะแสงอินฟราเรดสามารถส่งความร้อนไปยังชิปโดยตรง ไม่ใช่ไปยังผนังของห้องอบ ในกระบวนการผลิตสารโฟโตรีซิสต์ สิ่งนี้ช่วยให้สามารถควบคุมขนาดของชิปได้อย่างแม่นยำ และลดการต้องทำงานซ้ำลง ส่วนในกระบวนการบรรจุภัณฑ์ ก็ช่วยให้สามารถทำให้สารที่อยู่ใต้ชิปแห้งได้ โดยไม่ทำให้ชิปเสียรูป นอกจากนี้ การใช้เครื่องนี้ในห้องปลอดฝุ่นยังช่วยลดปริมาณฝุ่นได้อีกด้วย ซึ่งเป็นสิ่งที่จำเป็นสำหรับการผลิตชิประดับสูง

ข้อควรระวังบางประการ เครื่องนี้ต้องการแหล่งพลังงานที่มีความเสถียร และมีระบบกรองอากาศที่ดี เพื่อให้กระจกที่ใช้ในการมองเห็นชิปมีความสะอาด การเตรียมเครื่องให้พร้อมใช้งานใช้เวลาไม่นาน แต่ควรเริ่มการอบหลังจากที่เครื่องมีความเสถียรแล้วประมาณ 10 นาที เครื่องนี้มีขนาดกะทัดรัด แต่ก็ยังจำเป็นต้องมีพื้นที่ว่างรอบๆ บริเวณที่มีเครื่องอบ เพื่อความปลอดภัย ควรเลือกสเปกตรัมของแสงอินฟราเรดให้เหมาะสมกับสารโฟโตรีซิสต์และวัสดุที่ใช้ในการผลิต ทีมงานของเราสามารถช่วยออกแบบกระบวนการผลิตให้เหมาะสมกับโรงงานของคุณได้