บนพื้นที่ผลิต ภาวะความซ้ำซ้อนของการอบ photoresist เป็นสิ่งที่ต้องยอมรับ การเบี่ยงเบนของอุณหภูมิ 2°C ระหว่างการอบแบบ soft bake หรือ hard bake...

บนพื้นที่ผลิต ชีวิตเดินหน้าไม่หยุด นาฬิกาในสายการผลิตลิโธกราฟีเดินต่อเนื่อง โมดูลการเคลือบ/อบหมุนเวียนทำงาน...