Инфракрасная лампа с золотым отражателем

Sat, 18 Jul 2026 04:24:06 +0800

Не беспокойтесь о частицах в чистой комнате класса 100
Если вы работаете в условиях чистой комнаты класса 100 (ISO 5), вы знаете, насколько сложно контролировать образование частиц. Одного лишь крошечного осколка от нагревательного элемента достаточно, чтобы вся партия кремниевых пластин или медицинских имплантатов стала бесполезной.

Обычные нагревательные элементы просто не могут выдерживать такие высокие температуры – они начинают испаряться или отклеиваться. Это постоянная борьба.

Мы используем другой подход: мы применяем инфракрасные лампы из кварца высокой чистоты и отражатели, покрытые золотом. Никаких осколков, никакой пыли – только спокойствие.

Лампа нагревателя для литографии Canon

Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800

На литографическом этаже вы знаете, как это бывает. Мягкий прогрев с отклонением даже на полградуса меняет широту экспозиции, а затем жесткий прогрев начинает выбрасывать загрязнения в линии. Вы подстраиваете фокус, корректируете дозу, и всё равно видите ошибки позиционирования краёв, которые напрямую связаны с термическим этапом. Печь стабильна. Горячая пластина стабильна. Узкое место — лампа внутри нагревательного модуля Canon lithography.

Что важно с технической точки зрения
Мы строим лампу нагревателя Canon lithography на основе коротковолнового инфракрасного (SWIR) галогенного излучателя в кварцевом колбе, настроенного на быстрое, прямое излучательное нагревание с откликом менее секунды. Вы получаете термическое выравнивание на уровне подложки с точностью ±0.1°C по всей поверхности прогрева и повторяемость температуры, сохраняющуюся на тысячах подложек. Геометрия нити и отражающая поверхность подобраны под камеру нагревателя, так что фоторезист видит повторяемый тепловой профиль — без горячих точек на краях.

Лампочка on Factory Direct Infrared Heating

Инфракрасная лампа с золотым отражателем

Лампа нагревателя для литографии Canon