Сокращение выбросов углерода в производстве полупроводников: почему так важна корпусная конструкция оборудования
Все заводы по производству полупроводников сейчас сталкиваются с большим давлением, связанным с необходимостью достижения целей нулевых выбросов. Это огромное давление. Одним из самых эффективных способов решения этой проблемы является замена старых резистивных нагревателей на специализированные инфракрасные системы.
Но есть один нюанс: самые современные инфракрасные лампы – это лишь половина решения проблемы. Если корпус, в котором они расположены, не сделан правильно, энергия просто теряется зря.
Корпус – это не просто крепление для лампы; это элемент, который помогает контролировать распределение тепла. Мы используем высококачественную нержавеющую сталь, потому что в чистых комнатах существует высокий риск окисления или появления металлических частиц, которые могут повредить пластины. К тому же, если тепло распределяется неравномерно, пластины искривляются. Это настоящий кошмар, которого никто не хочет.
Мы специально проектируем корпус так, чтобы инфракрасное излучение отражалось обратно на объект нагрева. Таким образом тепло остается там, где нужно, и не распространяется по всему оборудованию. Когда отражение настроено правильно, можно снизить мощность нагревателя, но при этом сохранить нужную температуру. Это позволяет сократить потребление энергии на единицу продукции.
Есть и свои недостатки: нержавеющая сталь не передает тепло так быстро, как алюминий. Но это преднамеренно. Мы не хотим, чтобы тепло распространялось по всему корпусу оборудования; мы хотим, чтобы оно оставалось на пластинах. Конечно, для нагрева требуется больше времени, но как только температура достигает нужного уровня, она остается стабильной. Это создает стабильную тепловую массу. Это значит, что контроллеры температуры не будут постоянно пытаться найти оптимальную температуру – что, по сути, означает лишнее потребление энергии. Все происходит более стабильно.
Главное преимущество использования инфракрасных систем заключается в том, что нагревается только сам объект, а не весь помещение. Таким образом не тратится энергия на нагрев воздуха вокруг оборудования. При использовании точно изготовленных корпусов из нержавеющей стали вместе с инфракрасными лампами время проведения процесса нагрева значительно сокращается. Это простая математика: чем меньше времени оборудование работает, тем меньше углерода выбрасывается в атмосферу.