Módulo de aquecimento por infravermelhos zonal

Tue, 23 Jun 2026 00:11:51 +0800

Na linha de produção, você sabe como funciona: uma variação de 0,2°C na temperatura de cozimento faz com que o perfil do fotoreativo saia dos parâmetros estabelecidos, tornando-o inutilizável. As placas de aquecimento convencionais não conseguem combater as irregularidades na temperatura ao longo da superfície do wafer, o que obriga a se ter limites de controle mais rigorosos para corrigir essas irregularidades. Criamos o módulo de aquecimento por infravermelho zonal para eliminar essa variabilidade durante os processos de cozimento, exatamente onde é mais importante: na superfície do wafer.

Zonificado on Factory Direct Infrared Heating

Módulo de aquecimento por infravermelhos zonal