Lâmpada do aquecedor de litografia Canon

Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800

No piso de litografia, você sabe como é. Um soft bake que varia meio grau já desloca sua latitude de exposição, e então o hard bake começa a depositar resíduos nas linhas. Você ajusta o foco, regula a dose, e ainda assim fica encarando erros de posicionamento de borda que remetem diretamente ao passo térmico. O forno está estável. A placa quente está estável. O gargalo é a lâmpada dentro do módulo de aquecimento de litografia Canon.

O que importa, tecnicamente
Construímos a lâmpada de aquecimento de litografia Canon em torno de um emissor halógeno infravermelho de onda curta (SWIR) em invólucro de quartzo, ajustada para aquecimento radiante rápido e direto com resposta em fração de segundo. Você obtém uniformidade térmica a nível de wafer dentro de ±0,1°C na superfície de bake, e repetibilidade de temperatura que se mantém estável por milhares de wafers. A geometria do filamento e o caminho do refletor são combinados à cavidade do aquecedor, de modo que o fotoresiste recebe um orçamento térmico repetível — sem pontos quentes nas bordas.

Litografia on Factory Direct Infrared Heating

Lâmpada do aquecedor de litografia Canon