Secador de infravermelhos compacto para CI

Sat, 27 Jun 2026 05:01:35 +0800

Na linha de produção, uma variação de 2°C na temperatura durante o processo de secagem afeta o perfil do fotoresisto. Uma secagem excessivamente rápida pode causar danos ao material. Um secador infravermelho compacto para chips é essencial – ele garante a repetibilidade térmica nas linhas de litografia e embalagem. Construímos este equipamento para garantir a repetibilidade térmica em todas as etapas do processo, já que, neste setor, cada wafer é muito importante.

O que realmente importa
Utilizamos emissores de luz infravermelha próxima (NIR), projetados para fornecer aquecimento rápido e uniforme, com baixa inércia térmica. A uniformidade da temperatura em toda a superfície do wafer fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade do ponto de controle fica entre ±0,5°C. Isso permite que os perfis de secagem do fotoresisto sejam mantidos consistentes de lote em lote. O secador é compatível com salas limpas de classe 1–100, com sistema de ar controlado para evitar a presença de partículas. Pode operar 24/7, com tempo médio entre falhas superior a 20.000 horas, sem interrupções não planejadas. Suas dimensões são pequenas: 300 mm × 200 mm × 150 mm. Funciona com tensão de 24 VDC ou 48 VDC, e possui conectores padrão para ser integrado às linhas existentes.

Compacto on Factory Direct Infrared Heating

Secador de infravermelhos compacto para CI