Na linha de produção, uma variação de 2°C na temperatura durante o processo de secagem afeta o perfil do fotoresisto. Uma secagem excessivamente rápida pode causar danos ao material. Um secador infravermelho compacto para chips é essencial – ele garante a repetibilidade térmica nas linhas de litografia e embalagem. Construímos este equipamento para garantir a repetibilidade térmica em todas as etapas do processo, já que, neste setor, cada wafer é muito importante.
O que realmente importa
Utilizamos emissores de luz infravermelha próxima (NIR), projetados para fornecer aquecimento rápido e uniforme, com baixa inércia térmica. A uniformidade da temperatura em toda a superfície do wafer fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade do ponto de controle fica entre ±0,5°C. Isso permite que os perfis de secagem do fotoresisto sejam mantidos consistentes de lote em lote. O secador é compatível com salas limpas de classe 1–100, com sistema de ar controlado para evitar a presença de partículas. Pode operar 24/7, com tempo médio entre falhas superior a 20.000 horas, sem interrupções não planejadas. Suas dimensões são pequenas: 300 mm × 200 mm × 150 mm. Funciona com tensão de 24 VDC ou 48 VDC, e possui conectores padrão para ser integrado às linhas existentes.
Por que funciona bem na linha de produção
É necessário um aquecimento rápido, sem superaquecimento. A luz infravermelha permite um controle preciso do calor, reduzindo o tempo de secagem e aumentando a produtividade. O consumo de energia diminui, pois o emissor atinge diretamente o wafer e o substrato, e não as paredes da câmara. No processamento de fotoresisto, isso resulta em maior precisão nas dimensões críticas e menos necessidade de retrabalhos. Na embalagem, o secador remove o excesso de material e elimina a umidade, sem causar deformações. A compatibilidade com salas limpas ajuda a manter baixo o número de partículas no ar – algo essencial para processos avançados.
Algumas observações práticas
O secador precisa de uma fonte de alimentação estável e filtrada, além de um fluxo de ar limpo e seco, para manter a janela ótica livre de impurezas. O tempo de aquecimento é curto, mas a secagem só deve começar após 10 minutos de estabilização. Embora seja compacto, ainda é necessário espaço ao redor da área do emissor, para garantir segurança e eficiência no funcionamento. É importante ajustar o espectro de luz do emissor de acordo com o tipo de fotoresisto e substrato utilizado. Nossa equipe de aplicação pode ajudar a adaptar o processo à sua linha de produção.