Moduł suszenia płytek 200mm

Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800

Na linii o długości 200 mm jeden etap suszenia może negatywnie wpłynąć na jakość produktu. Woda pozostała po procesie czyszczenia powoduje powstawanie „watermarków” na powierzchni fotorezystu, a następnie proces suszenia powoduje odchylenia od wymaganych parametrów. Nie można tego naprawić poprzez drobne dostosowania przez operatora – potrzebny jest moduł suszący, który będzie działał tak samo w każdym cyklu produkcji.

Co jest istotne pod względem technicznym Nasz moduł suszący płytek o średnicy 200 mm opiera się na kontrolowanym dostarczaniu ciepła oraz kontroli zanieczyszczeń. Równomierność temperatury na całej powierzchni płytki jest utrzymywana na poziomie ±0,1°C, dzięki czemu parametry suszenia pozostają stałe w różnych partiach produktów. System nadaje się do użytku w pomieszczeniach klasy 1–100 i zapewnia brak powstawania jakichkolwiek cząsteczek, co jest istotne przy realizacji rygorystycznych standardów w litografii. Przy ciągłej pracy system ma zapewnić zerowy czas przerwy, a jego żywotność wynosi dziesiątki tysięcy godzin. Powtarzalność nie jest tu kwestią drugorzędną – to podstawa jego działania.

Moduł grzewczy podczerwieni z dostosowanymi strefami

Tue, 23 Jun 2026 00:11:52 +0800

Na linii produkcyjnej wszystko jest jasne: choć temperatura pieczenia zmieni się o zaledwie 0,2°C, to profil właściwości fotorezystu zmienia się od wartości spełniających normy na takie, które sprawiają problemy. Tradycyjne elementy grzewcze nie radzą sobie z problemem nierównomierności temperatury na powierzchni płytki, więc trzeba ściśle kontrolować parametry procesu. Stworzyliśmy moduł grzewczy oparty na technologii podczerwieni, który eliminuje te wahania w procesach cieplnego obróbki płytek – dokładnie w tym miejscu, gdzie to ma znaczenie, czyli na samym powierzchni płytki.

Moduł on Factory Direct Infrared Heating

Moduł suszenia płytek 200mm

Moduł grzewczy podczerwieni z dostosowanymi strefami