Nikon stepper lampvervanging

Thu, 04 Jun 2026 03:39:38 +0800

Op de lithografievloer is die Nikon stepperlamp niet zomaar een verbruiksartikel—het is de grens die je niet mag overschrijden. Wanneer het lampvermogen afwijkt, stoppen je soft bake- en hard bake-temperaturen met herhalen. De profielen van de photoresist dwalen af. CD-uniformiteit raakt uit balans. Je hebt niet zomaar een nieuwe lamp nodig. Je hebt thermische stabiliteit nodig die om 2 uur ’s nachts hetzelfde is als om 2 uur ’s middags.

Wat er onder de motorkap telt
We bouwen vervangingslampen specifiek voor Nikon steppers, die een stabiele breedbanduitvoer leveren met gecontroleerde spectrale inhoud zodat de waferverhitting consistent blijft. De herhaalbaarheid van de doeldemperatuur blijft binnen ±0,1°C gedurende de bake-cyclus, wat het thermische budget van de photoresist beschermt dat je niet kunt verliezen. De kwartsomhulling en geoptimaliseerde filamentgeometrie zorgen voor een snelle thermische respons met minimale overshoot bij verandering van setpoints. Materialen en constructie geschikt voor cleanroomomgevingen houden de deeltjesproductie vrijwel op nul—strak genoeg voor Class 1–100 omgevingen. De stabiliteit van de output is beoordeeld op binnen 1% gedurende 2.000 uur, en het mechanische formaat komt overeen met de OEM-interface zodat de lamp direct past en werkt.

Stappenmotor on Factory Direct Infrared Heating

Nikon stepper lampvervanging