Oven voor schone ruimtes infraroodverwarmer

Thu, 23 Jul 2026 11:46:17 +0800

Houd je verwarmingsapparaten in een schone ruimte in orde
Wanneer je te maken hebt met ovens in een schone ruimte, gelden de gewone regels niet. Je mag geen verwarmingselementen gebruiken die gassen afgeven of kleine deeltjes vrijmaken – dat is onacceptabel. We gebruiken speciale infraroodlampen om dit probleem op te lossen. Maar eerlijk gezegd: de warmte is het gemakkelijke deel.

Het echte probleem zit in de elektrische kant van zaken. Daarom gokken we niet. Elke lamp die onze fabriek verlaat, wordt grondig getest op spanning en isolatie. 100% van de lampen ondergaat deze testen. Er zijn geen uitzonderingen.

LPCVD oven verwarmingselement

Mon, 08 Jun 2026 05:12:05 +0800

Op de productievloer is thermische drift van de oven niet slechts een getal op een display. Het manifesteert zich als kritieke dimensieveranderingen en afwijkingen in de dopingprofielen over de wafer. Eén warme zone die afwijkt, en je krijgt uitval door variaties in het bakken van de photoresist en filmspanning die nooit precies op dezelfde manier consistent is.

Wat technisch van belang is

Ons LPCVD-ovenverwarmingselement is opgebouwd rond reproduceerbare temperatuurregeling, gericht op thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C over de lading. Het ontwerp van de warme zone beperkt temperatuurgradiënten en waarborgt het thermische budget waarop het procesrecept is gebaseerd.
Kwarts- en speciaal ontwikkelde keramische interfaces houden de partikelaanmaak op nul, zodat je in cleanroomklasse 1–100 kunt werken zonder het risico op verontreiniging te verhogen. Snelle respons en stabiele output in de steady state bieden nauwere bakmarges in de photoresistverwerking—soft bake- en hard bake-profielen blijven consistent, telkens weer.

Oven on Factory Direct Infrared Heating

Oven voor schone ruimtes infraroodverwarmer

LPCVD oven verwarmingselement

Wat technisch van belang is