Kompakte infrarooddroger voor IC

Sat, 27 Jun 2026 05:01:35 +0800

Op de productielijn heeft een lichte verhoging van de temperatuur met 2°C al invloed op het profiel van de fotoresist. Een te hoge temperatuur aan de randen kan echter leiden tot ongewenste effecten. Een compacte infrarooddroger voor IC’s is geen luxe – het is een essentieel onderdeel van het proces. We hebben deze droger ontworpen om de thermische consistentie in de lithografie- en verpakkingslijnen te bewaren. In deze branche telt iedere chip.

Wat belangrijk is achter de schermen We gebruiken near-infraroodemitters die zijn ingesteld op snel en efficiënt verwarming met minimale thermische inertie. De temperatuurovereenstemming over de hele chip blijft binnen ±0,1°C, terwijl de herhalbaarheid van de instellingen rond ±0,5°C ligt. Hierdoor blijven de parameters van de fotoresist consistent van batch tot batch. De droger past in schone ruimten van klasse 1–100; er wordt gebruik gemaakt van lucht die is gefilterd op deeltjes, zodat er geen ongewenste deeltjes vrijkomen. De droger kan 24/7 worden gebruikt, met een MTBF van meer dan 20.000 uur en geen ongeplande stilstanden. De afmetingen zijn 300 mm × 200 mm × 150 mm. Er zijn standaardconnectoren beschikbaar voor aansluiting op bestaande systemen.

Droger on Factory Direct Infrared Heating

Kompakte infrarooddroger voor IC