
Het voorkomen van energieverlies: een betere manier om wafers te vervoeren
Als je ooit in een halfgeleiderzuiverruimte bent geweest, weet je hoe moeilijk het is. Je moet voortdurend proberen de wafers op de juiste temperatuur te houden terwijl ze worden vervoerd. Het is een groot probleem.
De meeste mensen gebruiken nog steeds conventionele verwarmingsapparaten, maar dat is zonde van de tijd en energie. Wij hebben besloten om infraroodverwarmingssystemen te gebruiken in de transportsystemen. Het gaat niet alleen om het behouden van een constante temperatuur – het gaat ook om het voorkomen van enorm veel energieverlies, wat anders de doelstellingen van een ‘groene fabriek’ in gevaar brengt.
Waarom infraroodverwarming werkt
Denk eens na over hoe gewone verwarmingsapparaten werken. Ze verwarmen eerst de lucht, en vervolgens verwarmt die lucht – hopelijk – de wafers. Dit proces is langzaam en inefficiënt. Bovendien is het zonde van de energie.
Infraroodverwarming werkt anders. We gebruiken korte-golfemitters die de warmte rechtstreeks naar de wafers sturen. Er is geen tussenpersoon nodig. De lucht rondom het transportsysteem blijft koel, waardoor het HVAC-systeem minder hard hoeft te werken om de warmte te compenseren.
De nadelen
We kiezen de juiste configuratie afhankelijk van het gewicht van de lading. Hoge-powerkwartslampen zorgen ervoor dat alles stabiel blijft tijdens het transport. Het goede nieuws? Ze gaan onmiddellijk aan. Je hoeft de verwarming alleen te gebruiken wanneer het transportsysteem zich in beweging bevindt.
Maar het is geen magie. Er zijn nadelen. Deze lampen worden erg heet. Als je niet goed oppast met de bescherming, kan dit leiden tot schade aan het transportsysteem of de sensoren. Je moet dus goed opletten met de sterkte van de lampen en de afstand tot de wafers.
Het verminderen van CO2-uitstoot en kosten
Uiteindelijk gebruikt deze methode minder kilowattuur per wafer. Als je geen pogingen meer doet om de hele ruimte te verwarmen, neemt je energieverbruik snel af.
Het is een win-winsituatie: je hebt meer controle over de temperatuur, en je elektriciteitsrekening daalt zelfs. Als je het nog beter wilt maken, kun je het systeem koppelen aan een slimme controller. Op die manier wordt de stroomtoevoer automatisch aangepast aan de positie van het transportsysteem, zodat er geen energie meer wordt verspild.