
Het voorkomen van die “geestpartikels” in je productieomgeving
Een klasse-100 schone ruimte schoonhouden vereist meer dan alleen het vervangen van luchtfilters. Als je ervaring hebt met halfgeleiderverwerking, weet je wat het echte probleem is: de verwarmingscomponent zelf.
De meeste standaard infraroodlampen zijn niet betrouwbaar. Ze geven giftige gassen af of scheiden kleine deeltjes af op het moment dat dit juist niet gewenst is. We hebben dit opgelost door een hoogzuivere synthetische kwartslaag te combineren met een goudreflecterende laag.
Hier is hoe het werkt:
We brengen een laag goud aan op de achterkant van de kwartstube. Het gaat hier niet om esthetiek; deze goudlaag fungeert als een thermisch spiegelbeeld, waardoor de infrarode straling richting de chip wordt gestuurd, in plaats van dat deze wordt verspild doordat de lamp zich opwarmt.
Het resultaat? Er is een veel hogere warmtedichtheid op de plekken waar het nodig is, terwijl de uiteinden van de lamp koeler blijven.
En de kwarts? We gebruiken hoogzuiver kwarts. We zijn zeer nauwkeurig als het om de specificaties gaat, omdat we niet willen dat er metalen onzuiverheden vrijkomen tijdens de hoge temperaturen. Op deze manier kunnen die “geestpartikels” geen schade toebrengen aan de chip.
Noot over de installatie:
Deze lampen zijn precisie-instrumenten, maar de concentratie warmte is enorm. Omdat de goudlaag alle energie in één richting stuurt, moet je goed opletten wat de temperatuur van de lampen wordt. Als je koelsysteem niet bestand is tegen zulke hoge temperaturen, kan dat leiden tot schade aan de apparaten. Het is dus belangrijk om ervoor te zorgen dat je koelsysteem adequaat is.
Waarom deze oplossing kiezen?
Goedekope lampen maken vaak gebruik van lijm of minderwaardige metalen. In een vacuüm of een ultrazachte omgeving gaan deze materialen snel kapot of geven ze giftige gassen af. Dat is een groot probleem.
Onze goudcoated lampen elimineren deze problemen volledig. Je hebt zo een stabiele, schone warmtebron die geen risico’s met zich meebrengt voor je productielijn. Voor engineers die absoluut geen stofdeeltjes op hun 300mm-chips willen hebben, is dit een eenvoudiger en veiliger alternatief.