Penggantian lampu stepper Nikon

Thu, 04 Jun 2026 03:39:38 +0800

On the lithography floor, lamp stepper Nikon itu bukan sekadar consumable biasa—ia adalah garisan yang tidak boleh dilangkaui. Apabila output lampu berubah, suhu soft bake dan hard bake tidak lagi konsisten. Profil photoresist menjadi tidak stabil. Keseragaman CD menjadi tidak menentu. Anda tidak memerlukan lampu lain. Anda memerlukan kestabilan terma yang menunjukkan hasil sama pada pukul 2 pagi seperti pada pukul 2 petang.

Apa yang penting di bawah hud
Kami membina lampu gantian khusus untuk Nikon stepper, memberikan output jalur lebar yang stabil dengan kandungan spektrum terkawal supaya pemanasan wafer kekal konsisten. Kebolehulangan suhu sasaran dikekalkan dalam ±0.1°C sepanjang kitaran bake, yang melindungi bajet terma photoresist yang tidak boleh dikompromi. Sampul kuarza dan geometri filamen yang dioptimumkan memberikan tindak balas terma pantas dengan overshoot minimum apabila setpoint berubah. Bahan dan pembinaan yang sesuai untuk bilik bersih memastikan penghasilan zarah hampir sifar—cukup ketat untuk persekitaran Kelas 1–100. Kestabilan output dianggarkan kekal dalam 1% sepanjang 2,000 jam, dan jejak mekanikal sepadan dengan antara muka OEM supaya ia boleh dipasang terus dan beroperasi.

Nikon on Factory Direct Infrared Heating

Penggantian lampu stepper Nikon