Pada lantai pembuatan, pemanggangan photoresist bukan hanya tentang suhu puncak sahaja. Ia mengenai keseragaman terma di seluruh wafer. Perubahan 0.5°C boleh menggerakkan bias CD dan menjejaskan hasil mengikut spesifikasi. Kami membina lampu pemanas air ultra tulen kami untuk mengekalkan profil terma stabil di tempat yang penting—pada resist, merentasi seluruh permukaan, kitaran demi kitaran.
Apa yang penting secara teknikal adalah kawalan. Kami menggunakan pemancar halogen gelombang pendek dalam amplop kuarza, digabungkan dengan geometri jisim terma rendah. Ini memberikan pemanasan pantas dan terarah dengan tindak balas bawah sesaat. Keputusannya adalah keseragaman tahap wafer dalam ±0.1°C dan kebolehulangan larian-ke-larian dalam 0.05°C.
Kepala lampu disahkan untuk bilik bersih Kelas 1–100. Laluan cecair disegel, dan ia beroperasi tanpa melepaskan zarah, walaupun secara berterusan. Output adalah tertutup-lengkap dan dikalibrasi, mengimbangi turun naik voltan talian dan suhu masuk air. Ini mengekalkan bajet terma untuk kedua-dua pemanggangan lembut dan keras.
Dalam litografi, pemanggangan yang konsisten adalah pengawal utama untuk lebar garisan dan profil dinding sisi. Lampu ini mengunci lengkung pemanggangan, jadi taburan CD berkurangan dan anda melihat kurang masalah footing dan scum selepas pembangunan. Tingkap proses terbuka, kerja semula menurun, dan anda tidak perlu mengejar resipi setiap syif.
Penggunaan tenaga juga berkurang. Tindak balas terma pantas menghapuskan lebihan pemanasan dan perendaman tidak aktif, jadi anda menjimatkan kuasa siap sedia tanpa menjejaskan hasil pengeluaran. Dengan MTBF melebihi 5,000 jam dan perubahan output kurang 5% sepanjang tempoh servis, masa henti tidak dirancang berkurang dan jadual kekal boleh diramal.
Lampu ini boleh dipasang dalam trek pemanggangan standard, tetapi blok air dan amplop kuarza membawa jisim terma, jadi perhatikan toleransi pemasangan anda. Mikro-getaran boleh memberi kesan pada penyelarasan jika pemasangan tidak tepat.
Kualiti air tidak boleh dirunding. Pastikan resistiviti air ultra tulen melebihi 18 MΩ·cm dan zarah kurang daripada 0.1 μm. Jika tidak, anda akan melihat pembentukan filem dan titik panas.
Selepas pemasangan, beri sistem masa perendaman terma singkat untuk penstabilan, kemudian sahkan semula peta keseragaman sebelum mengembalikannya kepada pengeluaran.