
Menghentikan kebocoran haba: Cara yang lebih baik untuk memindahkan wafer
Jika anda pernah berada di bilik bersih untuk pengeluaran semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarunya tugas tersebut. Anda perlu berusaha keras untuk mengekalkan suhu wafer pada tahap yang sesuai semasa ia dipindahkan. Ini merupakan masalah yang sangat menyusahkan.
Kebanyakan orang masih menggunakan pemanas konvensional, tetapi cara ini membuang banyak tenaga. Kami telah mula menggunakan sistem pemanasan inframerah (IR) dalam troli pengangkutan wafer. Tujuannya bukan sekadar untuk mengekalkan suhu yang stabil, tetapi juga untuk menghentikan kebocoran tenaga yang sering merosakkan target “Green Factory”.
Mengapa IR berkesan
Fikirkan bagaimana pemanas biasa berfungsi. Ia memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut akan memanaskan benda yang ingin dipanaskan. Proses ini lambat, tidak efisien, dan membuang tenaga.
IR pula berbeza. Kami menggunakan pemancar gelombang pendek yang menghantar haba secara langsung ke wafer. Tiada perantaraan yang diperlukan. Udara di sekeliling troli tetap sejuk, jadi sistem HVAC tidak perlu bekerja keras untuk menyeimbangkan suhu.
Kelebihan dan kekurangan
Kami memilih kaedah ini berdasarkan berat beban yang perlu dipindahkan. Lampu kuarsa berkuasa tinggi membantu kami mengekalkan suhu yang stabil semasa proses pemindahan. Yang terbaik ialah lampu ini dapat dihidupkan dengan cepat. Pemanas hanya perlu dihidupkan apabila troli sedang bergerak.
Namun, ia bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ada beberapa kelemahan. Lampu-lampu ini menjadi sangat panas. Jika kita tidak berhati-hati, ia boleh merosakkan komponen troli atau sensor-sensor yang digunakan. Kita perlu berhati-hati dengan kuasa yang digunakan serta jarak antara lampu dan objek yang dipanaskan.
Mengurangkan penggunaan tenaga
Pada akhirnya, cara ini membolehkan penggunaan tenaga yang lebih sedikit untuk setiap wafer yang dipindahkan. Dengan cara ini, jejak karbon yang dihasilkan juga berkurangan.
Ia merupakan penyelesaian yang win-win. Anda dapat mengawal suhu dengan lebih baik, dan bil elektrik pun akan berkurangan. Jika anda ingin mendapatkan hasil yang lebih baik, gunakan kawalan pintar. Dengan cara ini, sistem akan mengatur penggunaan tenaga secara automatik, sehingga semua pembaziran tenaga dapat dielakkan.