http://infrared-heat-direct.com/ko/tags/rtp/ Recent content in RTP on Factory Direct Infrared Heating Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="RTP 시스템용 할로겐 램프"></p> <p>공장 현장에서는 온도 변동이 결코 무시할 수 있는 문제가 아닙니다. 포토레지스트를 소프트 베이크하거나 하드 베이크할 때 5°C만큼의 온도 변동이 생겨도 선폭 제어에 문제가 생길 수 있습니다. 또한 RTP 과정에서 온도가 균일하지 않으면 접합부의 특성이 망가집니다. 우리는 이러한 변수들을 없애기 위해 특별히 설계된 할로겐 램프를 사용합니다.</p>