http://infrared-heat-direct.com/ko/tags/300mm/ Recent content in 300mm on Factory Direct Infrared Heating Hugo ko Fri, 03 Jul 2026 08:59:49 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/wafer-drying-lamp-300mm/ Fri, 03 Jul 2026 08:59:49 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/wafer-drying-lamp-300mm/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="와이퍼 건조 램프 300mm"></p> <p>300mm 웨이퍼 처리 과정에서는 건조기가 단순히 편의적인 장비가 아닙니다. 이건 웨이퍼가 공장을 떠나기 전 마지막 열처리 단계입니다. 포토레지스트를 가열할 때 약간의 온도 불균일성이 생기거나, 노화된 램프에서 입자가 발생하면 반복 가능한 리소그래피 공정이 실패로 이어집니다. 저희는 웨이퍼 건조용 램프를 설계할 때 하나의 중요한 요구사항을 고려했습니다. 바로 웨이퍼의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지하면서도 오염이 발생하지 않도록 하는 것입니다.</p>