http://infrared-heat-direct.com/ko/tags/%EC%BA%90%EB%85%BC/ Recent content in 캐논 on Factory Direct Infrared Heating Hugo ko Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="캐논 리소그래피 히터 전구"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>리소그래피 작업 현장에서는 상황이 어떻게 돌아가는지 잘 알고 있을 것이다. 소프트 베이크에서 온도가 0.5도만 변해도 노광 허용 범위가 달라지고, 이어서 하드 베이크 단계에서는 라인에 이물질이 쌓이기 시작한다. 초점을 맞추고, 노광량을 조정해도 가장자리 위치 오차가 계속 발생하는데, 이 문제는 결국 열처리 단계로 거슬러 올라간다. 오븐은 안정적이고, 핫플레이트도 안정적이다. 병목 현상은 <a href="https://o-yate.net">Canon</a> 리소그래피 히터 모듈 내부의 램프에 있다.</p>