http://infrared-heat-direct.com/ko/tags/%EC%8A%A4%ED%85%8C%ED%8D%BC/ Recent content in 스테퍼 on Factory Direct Infrared Heating Hugo ko Thu, 04 Jun 2026 03:39:38 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Thu, 04 Jun 2026 03:39:38 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="니콘 스테퍼 램프 교체"></p> <h1 id="리소그래피-작업장에서는-nikon-스테퍼-램프가-단순한-소모품이-아니라-넘을-수-없는-선이다-램프-출력이-변동하면-소프트-베이크와-하드-베이크-온도가-일정하지-않게-되고-포토레지스트-프로파일이-흐트러지며-cd-균일성이-불안정해진다-추가-램프가-필요한-것이-아니라-오전-2시나-오후-2시나-동일하게-나타나는-열적-안정성이-필요하다">리소그래피 작업장에서는, <a href="https://henruite.com">Nikon</a> 스테퍼 램프가 단순한 소모품이 아니라 넘을 수 없는 선이다. 램프 출력이 변동하면, 소프트 베이크와 하드 베이크 온도가 일정하지 않게 되고, 포토레지스트 프로파일이 흐트러지며, CD 균일성이 불안정해진다. 추가 램프가 필요한 것이 아니라, 오전 2시나 오후 2시나 동일하게 나타나는 열적 안정성이 필요하다.</h1> <p><strong>핵심 기술 사항</strong><br> 우리는 Nikon 스테퍼 전용 교체 램프를 제작하여, 스펙트럼 제어가 된 안정적인 광대역 출력을 제공함으로써 웨이퍼 가열을 일정하게 유지한다. 베이크 사이클 전체에서 목표 온도 반복성은 ±0.1°C 이내로 유지되어, 손실할 수 없는 포토레지스트의 열적 예산을 보호한다. 석영 봉투와 최적화된 필라멘트 형상은 설정점 변경 시 빠른 열 반응과 최소한의 과도 상승을 가능하게 한다. 클린룸 호환 소재와 구조는 입자 발생을 거의 0에 가깝게 유지하며, Class 1–100 환경에 적합하다. 출력 안정성은 2,000시간 동안 1% 이내 유지로 평가되며, 기계적 치수는 OEM 인터페이스와 일치하여 즉시 장비에 장착하여 사용할 수 있다.</p>