http://infrared-heat-direct.com/ko/tags/%EB%AA%A8%EB%93%88/ Recent content in 모듈 on Factory Direct Infrared Heating Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/wafer-drying-module-200mm/ Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/wafer-drying-module-200mm/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="웨이퍼 건조 모듈 200mm"></p> <p>200mm 공정에서는 단 한 번의 습식 처리도 제품의 품질을 크게 저하시킬 수 있습니다. 세척 후 남은 물기는 포토레지스트에 워터마크를 남기며, 이로 인해 소프트 베이크 과정에서도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 이러한 문제는 단순히 작업자의 조정만으로는 해결될 수 없습니다. 필요한 것은 시간이 지나도 일관된 성능을 보여주는 건조 모듈입니다.</p> http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ Tue, 23 Jun 2026 00:11:51 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="구역별 적외선 난방 모듈"></p> <p>생산 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 베이크 온도가 0.2°C만 변해도 포토레지스트의 성능이 규격 범위를 벗어나 버립니다. 기존의 하트플레이트 방식은 웨이퍼 표면의 온도 불균일성을 해결하기 위해 제어 범위를 더욱 엄격하게 설정해야 합니다. 우리는 바로 웨이퍼 자체에서 이러한 불균일성을 줄이기 위해 구역별 적외선 가열 모듈을 개발했습니다.</p>