http://infrared-heat-direct.com/ko/tags/%EA%B5%AC%EC%97%AD%EB%B3%84%EB%A1%9C-%EB%82%98%EB%89%A8/ Recent content in 구역별로 나뉨 on Factory Direct Infrared Heating Hugo ko Tue, 23 Jun 2026 00:11:51 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ Tue, 23 Jun 2026 00:11:51 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="구역별 적외선 난방 모듈"></p> <p>생산 현장에서는 잘 알려진 사실이 있습니다. 베이크 온도가 0.2°C만 변해도 포토레지스트의 성능이 규격 범위를 벗어나 버립니다. 기존의 하트플레이트 방식은 웨이퍼 표면의 온도 불균일성을 해결하기 위해 제어 범위를 더욱 엄격하게 설정해야 합니다. 우리는 바로 웨이퍼 자체에서 이러한 불균일성을 줄이기 위해 구역별 적외선 가열 모듈을 개발했습니다.</p>