http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/lpcvd/ Recent content in LPCVD on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 05:12:05 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ Mon, 08 Jun 2026 05:12:05 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="LPCVD炉の加熱要素"></p> <p>ファブフロアでは、炉の熱ドリフトは単なる表示上の数値ではない。ウェーハ全体にわたる重要寸法の変動や、ドーピングプロファイルの乱れとして現れる。一つのホットゾーンの異常が原因で、フォトレジストのベークばらつきやフィルム応力が生じ、同じ条件での再現性が確保できず、歩留まりの低下を追いかける羽目になる。</p>