http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/ic/ Recent content in IC on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 05:49:43 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/2-5d-3d-ic-packaging-heater/ Sun, 28 Jun 2026 05:49:43 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/2-5d-3d-ic-packaging-heater/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="2.5D/3D ICパッケージヒーター"></p> <p>この2.5D/3Dパッケージング用ヒーターの特徴は、温度を変数として考慮しなくて済む点です。フォトレジストの焼成プロファイルも規定値内に収まり、TSVの<a href="https://goldisgood.com">充填</a>やアンダーフィルの硬化も所定の状態になります。また、熱勾配が制御されるため、ウェーハ全体での温度バラツキは±0.1°C程度に抑えられます。設定値の安定性も、ソフトベイク、ハードベイク、接着剤の硬化時でも同じ精度を維持します。24時間365日稼働可能で、クラス1～100の清浄室<a href="https://henruite.com">環境</a>下では粒子の発生もありません。出力のドリフトチェックは5,000時間ごとに行われ、一度設定が決まれば、プロセスのCpk値は1.67以上を維持します。</p> http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ Sat, 27 Jun 2026 05:01:35 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/compact-infrared-dryer-for-ic/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="IC用コンパクト赤外線乾燥機"></p> <p>製造現場では、2℃程度のわずかな温度変動だけでもフォトレジストの特性が変化してしまいます。また、エッジ部分で<a href="https://o-yate.com">過度</a>に高温になると、汚れが残ってしまうことがあります。IC用の小型赤外線乾燥機は、単なる便利な装置ではなく、工程の重要な要素です。私たちは、リソグラフィーやパッケージング工程において熱履歴の再現性を保つためにこの装置を開発しました。なぜなら、この業界では、1枚1枚のウェーハが非常に重要だからです。</p> <p><strong>内部構造が重要な理由</strong> 私たちは、高速かつ均一な加熱が可能な近赤外線発<a href="https://henruite.com">振器</a>を使用しています。ウェーハ全体の温度のばらつきは±0.1℃以内に抑えられ、設定温度の再現性も±0.5℃以内です。そのため、ロットごとにフォトレジストの加熱プロファイルが安定して保たれます。この乾燥機は、クラス1～100のクリーンルームで使用でき、粒子をコントロールした空気供給系と、粒子を発生させない素材が採用されています。24時間365日の運転に適しており、MTBFは20,000時間以上で、パイロット運用時には停止が一切ありません。サイズは300mm×200mm×150mmで、24VDCまたは48VDCで動作し、既存の配線に簡単に接続できます。</p>