http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/200mm/ Recent content in 200mm on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/wafer-drying-module-200mm/ Thu, 25 Jun 2026 04:52:17 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/wafer-drying-module-200mm/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ乾燥モジュール 200mm"></p> <p>200mmウェーハの処理において、1回の湿式処理だけで生産性が損なわれることがあります。洗浄後に残った水分はフォトレジスト上に水痕として現れ、その後の軟質ベイク処理によって重要な<a href="https://o-yate.net">寸法</a>制御が不安定になります。これはオペレーターの手動調整では対処できず、シフトを重ねても同じように<a href="https://goldisgood.com">機能</a>する乾燥モジュールが必要です。</p>