http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/%E7%9B%BE/ Recent content in 盾 on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Mon, 01 Jun 2026 20:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 20:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/quartz-glass-shield-for-fab-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ファブランプ用クォーツガラスシールド"></p> <p>ファブフロアにおいて、フォトレジストのベイク再現性は基本条件にすぎない。ソフトベイクまたはハードベイク中に2℃のドリフトが発生すると、クリティカルディメンションの予算を速やかに圧迫し、それが意味するところは不良率の増加である。ファブのランプに装着された<a href="https://goldisgood.com">石英</a>ガラスシールドは、ウェーハとフォトレジストの接触面で熱フィールドの安定性を維持するために存在する。</p>