http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/%E3%83%AA%E3%83%88%E3%82%B0%E3%83%A9%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%BC/ Recent content in リトグラフィー on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/canon-lithography-heater-bulb/ Tue, 02 Jun 2026 06:11:25 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/canon-lithography-heater-bulb/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="キヤノン リソグラフィーヒーターバルブ"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>リソグラフィ工程では経験が物を言います。ソフトベークでわずか0.5度の変動が露光ラチチュードをずらし、その後のハードベークでラインにスカムが堆積し始めます。焦点を追い、投与量を微調整しても、エッジ配置誤差は熱処理工程に<a href="https://o-yate.com">起因</a>します。オーブンは安定し、ホットプレートも安定していますが、ボトルネックはCanonリソグラフィヒーターモジュール内のバルブです。</p>