http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/%E3%83%99%E3%83%BC%E3%82%AD%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in ベーキング on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Wed, 17 Jun 2026 15:59:33 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ Wed, 17 Jun 2026 15:59:33 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/photoresist-baking-lamp/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="フォトレジストベーキングランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程では、ご存知の通り、わずか1～2度の温度変動でも、重要な寸法管理が崩れてしまいます。また、スカムが発生することもありますが、そんな時には誰も対処する時間がありません。一方で、ウェーハは次々と処理されていき、時間が経つにつれて熱量が消費されていきます。私たちは、このような状況を解決するために、特殊なフォトレジスト加熱ランプを開発しました。</p>