センサー on Factory Direct Infrared Heating

ウエハーツール用温度センサー

Sat, 25 Jul 2026 04:50:22 +0800

ウェーハ製造プロセスにおける炭素排出量の削減：IR加熱の真実
正直に言って、半導体製造装置は莫大なエネルギーを消費します。ウェーハ製造プロセスにおける炭素排出量を見ると、最も多くのエネルギーが無駄になっているのは、加熱に関連する部分です。長年にわたり、私たちは真空チャンバー全体を巨大なオーブンのように加熱してきました。これは、ピザ1枚を温めるために家全体を暖めるようなものです。

MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

Thu, 23 Jul 2026 12:01:58 +0800

MEMSセンサーワイホールをより効率的に乾燥させる方法
もし、これまでMEMSセンサーワイホールの処理を経験したことがあるなら、その難しさはご存知でしょう。水を素早く除去する必要がありますが、水滴や熱ストレスによってワイホールが損傷してしまっては元も子もありません。

水素センサー製造用ヒーター

Mon, 13 Jul 2026 14:58:06 +0800

装置の壁を加熱するのをやめて、センサーを加熱しましょう。
もし水素センサーの製造に携わったことがあるなら、熱分布の問題がどれほど厄介かご存知でしょう。ほとんどの加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。これでは効率が悪く、大量の電力が無駄になります。結果として、半導体製造装置は巨大な放熱装置のようになってしまいます。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Fri, 10 Jul 2026 12:35:07 +0800

なぜ、私たちはIRセンサーの絶縁性能テストにこだわるのか？ウェーハの製造においては、そのリスクは非常に高い。わずかな電気的漏れがあっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまうのです。だからこそ、私たちは「サンプル検査」を行わないのです。数個のセンサーだけをテストして、うまくいくことを願うのではありません。私たちの工場を出るすべての製品は、100％の耐圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。これは絶対に欠かせない工程です。