http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/%E3%82%B7%E3%82%B9%E3%83%86%E3%83%A0/ Recent content in システム on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Thu, 18 Jun 2026 04:26:30 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="RTPシステム用のハロゲンランプ"></p> <p>ファブの現場では、温度変動は些細な問題ではありません。フォトレジストのソフトベークやハードベーク時に5℃もの温度変動があると、線幅の制御が失われてしまいます。また、RTP時の不均一な温度上昇は、接合部の形状を崩してしまいます。私たちは、このような変動を排除するために、RTP用のハロゲンランプを特別に<a href="https://o-yate.com">設計</a>しました。</p>