http://infrared-heat-direct.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A8%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウエハー on Factory Direct Infrared Heating Hugo ja Fri, 03 Jul 2026 08:59:49 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/wafer-drying-lamp-300mm/ Fri, 03 Jul 2026 08:59:49 +0800 http://infrared-heat-direct.com/ja/posts/wafer-drying-lamp-300mm/ <p><img src="http://infrared-heat-direct.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ乾燥ランプ 300mm"></p> <p>300mmウェーハの場合、乾燥装置は単なるオプションではありません。これは、ウェーハが出荷される前の最後の加熱工程にあたります。フォトレジストを焼成する際にわずか数度の温度不均一が生じたり、老朽化したランプから粒子が<a href="https://o-yate.com">発生</a>したりすると、再現性のあるリソグラフィー処理が不可能になってしまいます。私たちは、ウェーハの平面度を±0.1°C以内に保ち、汚染が生じないようにするという厳しい要件に基づいてウェーハ乾燥用のランプを設計しました。</p>