クリーンルーム用赤外線ヒーター

Mon, 27 Jul 2026 09:08:51 +0800

破片の発生を防ぐ：IRランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法

大量生産の半導体製造ラインにおいて、IRランプが破損すると大変な問題になります。単に生産が止まるだけでなく、ガラスの破片や金属片がウェーハ上に散らばってしまいます。これは完全な災害です。
そのため、私たちはクリーンルーム用の赤外線ヒーターを開発し、そうした混乱が製品に及ぶ前に防ぐのです。

クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Thu, 23 Jul 2026 11:46:16 +0800

クリーンルーム用ヒーターを正常に動作させ続けるためのポイント
クリーンルームで使用されるオーブンの場合、通常のルールは適用されません。ガスや微小な粒子を放出するようなヒーター要素は使えません。その問題を解決するために、私たちは特殊な赤外線ランプを利用しています。でも正直なところ、熱を発生させる部分は比較的簡単です。
本当の問題は、電気的な側面です。
だからこそ、私たちは適当に対処しません。私たちの工場から出荷されるすべてのランプは、厳格な電圧検査や絶縁検査を受けます。100％です。例外はありません。
なぜ私たちがこのような厳格な検査を行うのか
高ワット数の赤外線ランプを狭いオーブン内に設置すると、問題が起こりやすくなります。電気漏れやアーク放電が瞬時に起こり得ます。それを防ぐために、私たちは各ランプを通常の動作電圧をはるかに超える条件でテストします。これは、石英製のケースや内部のシール部分が壊れないかを確認するためのストレステストです。もしランプが故障したら、そのランプは廃棄されます。今、ランプを捨てる方が、生産途中で故障が起きるよりもずっと安上がりです。
知っておくべきトレードオフ
私たちは、環境を清潔に保つために高純度の石英を使用しています。また、過酷な高温環境に耐えられるように設計されています。しかし、注意点もあります。大量の電力を短い管を通して送ると、配線やコネクタに大きな負担がかかります。接続する前に、制御盤や配線をしっかりチェックしてください。もし、実際の電流に耐えられない場合、端子が焼けてしまいます。これは良い始まりとは言えません。
現場での実用的なアドバイス
これらのランプは、簡単に交換できるように設計されていますが、肝心なのはランプとヒーターブロックの間のシール部分です。もしそのシールが不十分だと、フィラメントが酸化してしまいます。そうなると、ランプの寿命は大幅に短くなります。正しく設置すれば、安定した加熱が得られ、何かが故障する心配もありません。
最後に、重要なことがあります。これらのランプは強力な電力源ですが、石英は壊れやすいものです。**必ず手袋を着用してください。**素手で触ると、皮膚の油分が付着し、ランプが加熱されると、その部分が「ホットスポット」となり、ガラスが割れてしまう可能性があります。必ず清潔に保ち、丁寧に扱えば、長持ちします。

きれい on Factory Direct Infrared Heating

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